CIF数据格式转换成PG3600数据格式的新切割算法

李金儒; 汤跃科; 陈宝钦

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CIF数据格式转换成PG3600数据格式的新切割算法

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为了编制能够运行于Windows操作系统且又能够挂靠在L-EDIT数据格式上的转换软件,提出了一种新的将微光刻图形CIF数据格式转换为PG3600数据格式的图形切割算法--沿边切割法,重点讨论了圆形和多边形切割成矩形的具体算法,并与其它几种常见的切割算法进行了比较,表明该算法对于不规则图形的切割具有明显的优越性.

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来源
《微细加工技术》 |2006年第1期|7-12|共6页
作者
李金儒; 汤跃科; 陈宝钦;
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作者单位

中国科学院微电子研究所,纳米加工与新器件集成实验室,北京,100029;

中国科学院微电子研究所,纳米加工与新器件集成实验室,北京,100029;

中国科学院微电子研究所,纳米加工与新器件集成实验室,北京,100029;

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正文语种 chi
中图分类制版;
关键词
微光刻技术; 数据格式转换; 图形切割; 沿边切割算法;

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