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一种用于微拉伸系统的MEMS弹簧设计与制作

             

摘要

针对微拉伸测试系统支撑梁因塑性变形带来的误差,采用UV-LIGA技术制备出S型支撑弹簧来代替刚性梁,这样即可测量大变形薄膜的力学性能.实验结果表明,用UV-LIGA工艺制备的Ni金属S形弹簧具有良好的均匀性,在较大的变形范围内有很好的线弹性.

著录项

  • 来源
    《微细加工技术》 |2008年第4期|62-64|共3页
  • 作者单位

    上海交通大学,微纳科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030;

    上海交通大学,微纳科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030;

    上海交通大学,微纳科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030;

    上海交通大学,微纳科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030;

    上海交通大学,微纳科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 弹簧;
  • 关键词

    微弹簧; 电铸; MEMS; UV-LIGA;

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