建立在密度聚类与模糊支持向量机基础上的半导体成品率预测

摘要

在半导体生产过程中,半导体的成品率即合格品占整个生产线上产品的比例是衡量一个企业生产水平的重要指标之一,成品率的高低直接决定了企业的生产成本,因而研究了一种在密度聚类与模糊支持向量机基础上的半导体成品率预测方法来提高成品率预测的精准度。先介绍了成品率预测中的经验模型和非经验模型两类模型,总结了各自的特点,然后利用密度聚类的方法对晶圆的缺陷进行分析,得到了晶圆缺陷的分布模式和密度参数两个描述缺陷的重要指标,结合两个指标提出了用模糊支持向量机模型预测成品率。通过仿真实验分析,发现提出的采用模糊支持向量机模型比泊松模糊和二项式分布模型有更高的准确率。