新的3D缺陷检测技术实现纳米级快速检测

摘要

设备制造技术所涉及的器件规模越来越小，有的不过就22nm，可复杂程度却越来越高，因此，缺陷对于器件性能的不利影响也越来越大，而缺陷检测也越来越难。美国国家标准技术研究院（NIST）下属的物理测量实验室（PML）已经找到一种能够快速且无损地生成3D图像的技术，从而实现了纳米级缺陷的快速检测。