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谐振式微机械惯性传感器

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摘要

对几种典型的谐振式加速度微传感器和微陀螺的结构、工作原理等方面进行了概述,分析了各自的应用特点.从中反映出谐振式微惯性传感器具有优良的特性,必有广阔的应用和发展前景.

著录项

来源
《计测技术》 |2005年第2期|1-4,45|共5页
作者
樊尚春; 肖志敏; 张庆荣;
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作者单位

北京航空航天大学,仪器学院测控系,北京,100083;

北京航空航天大学,仪器学院测控系,北京,100083;

北京航空航天大学,仪器学院测控系,北京,100083;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
谐振式; 微机械惯性传感器; 加速度微传感器; 微陀螺;

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