亚纳米成为“中国精度”

摘要

1纳米是一根头发丝的8万分之一，而小于1纳米则被称为亚纳米——这是国防科大精密工程创新团队在超精密光学零件加工中创造的“中国精度”，有力支撑了“极大规模集成电路制造装备与成套工艺”等3个国家重大科技专项创新突破，3年来为国家创造直接经济效益2亿多元。近日，该校研制两种超精抛光装备通过国家重大科技专项验收。