定容法正压漏孔校准装置的不确定度分析

摘要

介绍了一种基于体积补偿结构的定容法正压漏孔校准装置,其测量范围为(1×10-5～1×10-6)Pa·m3/s,对一台正压漏孔进行校准,不确定度可达到8.6％(k=2),适用于正压漏孔日常的校准工作.