一种新型的表面粗糙度非接触测量系统

摘要

本文介绍了一种新型的用于表面粗糙度非接触测量系统，该系统能用于软金属材料工程表面，纸张，木材，橡胶等非金属表面，光学元件，集成电路表面以及皮肤、动植物等表面的表面粗糙度测量。