辉光放电质谱分析技术的应用进展

摘要

简单介绍了辉光放电质谱(GDMS)的基本原理.对辉光放电质谱在块状金属、半导体、非导体、溶液、气体和深度分析方面的应用进行了综述.块状金属和半导体的痕量元素分析为GDMS主要的应用,它们的研究报道众多;对非导体材料的分析扩宽了GDMS的应用范围;同时尝试采用GDMS对溶液和气体样品进行分析;GDMS作为一种重要的深度分析方法,相关的应用迅速增加.最后展望了辉光放电质谱的发展趋势.