电感耦合等离子体原子发射光谱法测定碳化硅中杂质元素

摘要

提出了使用电感耦合等离子体原子发射光谱同时测定碳化硅中微量Fe、Al、Ti、Ca、Mg、P、Mn的分析方法.样品用无水碳酸钠与硼酸混合熔剂熔融,硝酸提取,甲醇除硼,氢氟酸挥硅,然后在选定的仪器工作条件下测定.使用基体匹配法来校正基体的干扰.各元素的测定检出限为0.001～0.054 μg/mL,相对标准偏差(RSD,n=9)为0.5%～3.7%.经比对试验证明,本法测定值与其他方法测定值相符合.