KDP晶体修复用球头微铣刀及其对表面质量影响的研究

摘要

近年来惯性约束核聚变能因其既清洁又经济的特性成为一种理想的能源。磷酸二氢钾(Potassium Dihydrogen Phosphate,KDP)晶体是核聚变装置中必不可少的光学元件。但KDP晶体在连续高能激光打靶和超精密加工时,会在表面产生微缺陷点,需要对其进行及时处理。