微扑翼飞行器静电驱动机构的机电耦合特性研究

摘要

静电微驱动机构在微机械传感器、激励器中有着广泛的应用.对一种用于微型扑翼飞行器的扭转式静电微驱动机构,在建立其非线性动力学模型的基础上,采用数值方法在相空间中分析了系统的非线性动态特性,研究了初始条件和阻尼对临界拉入电压的影响,分析了在不同激励电压信号下系统的响应并得出方波信号较优的结论.最后针对静电扭转梁的有限元模型,采用顺序耦合场分析方法研究了系统的机电耦合特性.所得研究结论对扭转式静电微驱动机构的设计与应用提供了一定的理论依据.