压电陶瓷迟滞特性前馈控制算法分析

摘要

在亚微米超精密定位技术中,压电陶瓷的迟滞特性对定位精度影响较大.针对这一问题,提出了一种压电陶瓷迟滞特性的前馈控制算法.根据实验数据,借助Matlab软件建立压电陶瓷的迟滞数学模型,反求出输入电压转换函数,实现迟滞前馈控制.结果证明,利用该控制算法,压电陶瓷升/降压产生的位移线性度良好,迟滞在5％以内,可以满足亚微米定位需求.