用圆光栅作分度基准的高精度仪器的故障判断

摘要

用高精度圆光栅作分度基准的圆分度光电检验仪、测角仪和光电圆刻机，一旦出现故障，判断起来很困难。本文提供一种简易的判别办法，并提供了可参考的测试电路。