智能化电容式薄膜厚度在线检测仪

摘要

本文介绍了用电容测微仪和单片机构成的薄膜厚度在线检测系统，重点介绍了非接触式电容传感器原理及在本系统中的应用实例，简要说明了单片机的组成及与电容测微仪的接口。