精密电容式动态在线薄膜测厚仪的研制

摘要

介绍一种以８０３１单片为核心，采用电容传感器对薄膜厚度进行动态在线测量的高精度高分辨率仪器。仪器采用反馈运算方法，使用驱动电缆技术，克服了电容传感器输出的非线性，并提高了仪器整机的抗干扰能力。测量结果在单片机系统的控制下，实时进行数显，同时将被测过程量的变化情况通过ＴＶ板变成视频信号送入视频显示器，直观反映出测量结果的变化趋势。