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用原子力显微镜测量光盘的凹坑形貌

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本文首先介绍了原子力显微镜(AFM)的特点和影响光盘播放质量的主要参数,其次用AFM对光盘上记录信息用的凹坑深度、凹坑长度和侧壁角度等关键参数进行了测量,并对测量结果进行了分析.

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来源
《计量技术》 |2004年第3期|28-30|共3页
作者
景蔚萱; 蒋庄德;
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作者单位

西安交通大学精密工程研究所,西安,710049;

西安交通大学精密工程研究所,西安,710049;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光学记录材料工业;
关键词
原子力显微镜; 光盘; 凹坑长度; 凹坑深度; 侧壁角度;

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