柱状电容位置误差对微纳力值测量影响分析

摘要

为确定微纳力值测量过程中,柱状电容装置位置控制与测量误差对输出结果的影响,采用有限元方法对微纳力值测量与量值溯源装置中采用的圆柱状电容装置位置变化时对输出微纳力值的影响进行分析。通过比较装置内外电极发生平动或转动时,装置输出微纳力值的变化规律,得到实际应用过程中由于对圆柱电容测量或位置控制误差所造成的输出结果偏差,同时确定各种位置误差对输出结果的影响规律。该结果为微纳力值测量和量值溯源装置的设计、安装、应用等提供了理论依据。