3d过渡族金属杂质在硅中的行为

摘要

本文综述了３ｄ过渡族金属在直拉硅单晶中的扩散，溶解，沉淀及间隙位演变等性质，介绍了国际上此领域的研究进展，为进一步开展这方面的工作提供了有益的借鉴。