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碳基场发射冷阴极材料的研究

             
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摘要

场发射冷阴极材料作为真空微电子器件的核心部件,在真空微电子场发射的研究与应用中占有极其重要的地位.目前碳基材料金刚石、类金刚石和碳纳米管在场发射冷阴级的研究中居统治地位.阐述了以上3种材料的制备工艺,发射特性,提出了改进其发射性能的措施,并对它们目前存在的问题及其应用前景进行了展望.

著录项

  • 来源
    《材料导报 》 |2004年第5期|12-15|共4页
  • 作者

    钱开友; 林仰魁; 徐东; 蔡炳初; 孙卓;

  • 作者单位

    薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海交通大学微纳米科学技术研究院,上海,200030;

    薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海交通大学微纳米科学技术研究院,上海,200030;

    薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海交通大学微纳米科学技术研究院,上海,200030;

    薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海交通大学微纳米科学技术研究院,上海,200030;

    华东师范大学纳米功能材料与器件应用研究中心,上海,200062;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 电真空器件材料 ;
  • 关键词

    场发射冷阴极; 金刚石 ; 类金刚石 ; 碳纳米管 ;

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