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冯明海; 方亮; 刘高斌; 侯爱国; 张勇; 王万录;
重庆大学应用物理系,重庆,400044;
金刚石; 微细加工; 刻蚀; 等离子体;
机译:HF-HNO3-H2O气相刻蚀金刚石线锯多晶硅片上刻蚀坑的形貌
机译:微波等离子体辅助刻蚀的掩模选择性和金刚石刻蚀研究
机译:H_2 / O_2刻蚀等离子体处理在金刚石表面诱发的刻蚀晶面识别
机译:RIE刻蚀CVD金刚石薄膜的掩膜技术研究
机译:使用先进的激光诊断技术研究滞流金刚石形成火焰。
机译:Ni与金刚石在高温水蒸气中的热化学反应进行各向异性金刚石刻蚀
机译:反应离子和等离子体化学刻蚀对金刚石涂层表面形貌影响的研究
机译:金刚石尖端超声波刻蚀镍铬薄膜电阻器的研究
机译:表面刻蚀的金刚石颗粒和刻蚀金刚石颗粒的表面的方法
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