无机盐先驱体溶胶-凝胶法制备Al2O3薄膜的研究

摘要

用无机盐先驱体,溶胶-凝胶工艺在氧化铝基工程陶瓷上成功制备了Al2O3薄膜.用差热分析(DTA)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、二次离子质谱(SIMS)等手段对Al2O3薄膜的物相组成、表面和断面形貌及界面结构进行了分析.结果表明:制备的薄膜完整,内部无明显的宏观缺陷;Al2O3晶粒均匀,主要物相为α-Al2O3;基体中的元素在薄膜中有明显的扩散,有助于提高界面结合强度.