高频多层片式电感器用陶瓷材料的研究

摘要

研究了CaO-B2O3-SiO2体系微晶玻璃烧结工艺、烧结性能和微观结构等.结果表明,该体系陶瓷材料能够在低温850℃烧结,烧结性能良好;烧结体微观结构为大量尺寸和分布均匀的纳米晶粒、一定量残余玻璃相和少量气孔,烧结体的主晶相为CB(CaO@B2O3)、6C4S(6CaO@4SiO2)以及少量CS(CaO@SiO2).该烧结体在高频下具有低介电常数(εr=5.058,1GHz)、低介电损耗(tgδ=0.0013,1GHz).该材料能够在900℃和Au、Ag/Pd、Cu等电极材料共烧,是制造高频多层片式电感器的理想材料.