氧压变化对脉冲激光沉积法制备BeMgZnO四元合金薄膜性能的影响

摘要

本工作采用脉冲激光沉积法,以BeMgZnO陶瓷为靶材、c面蓝宝石为衬底,在固定衬底温度700?C、改变沉积氧压条件下制备BeMgZnO四元合金薄膜。采用X射线衍射、X射线光电子能谱、紫外-可见光谱法系统表征研究了这些薄膜。结果表明,通过Be-Mg共取代ZnO,有效提高了Mg在合金薄膜中的含量。当Mg的含量达到44.4%时,BeMgZnO薄膜中仍无相分离发生,并且此时BeMgZnO薄膜的带隙达到4.19 eV,在可见光波段的透过率也高达85%。