DC磁控溅射沉积WO3电致变色薄膜

摘要

采用直流磁控反应溅射工艺制备了WO3薄膜，在初始状态和注入Li离子后的平均透射率分别为83％和6％，变化接近77％，表明该w03薄膜样品具有很好的电致变色性能。根据薄膜的透射率和反射率分别计算了WO3薄膜的光学带隙：非晶WO3薄膜的带隙为3．31eV，多晶WO3薄膜的带隙为3．22eV。