超声喷雾热解法制备MgxZn1-xO薄膜及其性能研究

摘要

采用超声喷雾热解法在石英玻璃衬底上生长出不同组分的宽禁带MgxZn1-xO薄膜（x=0、0．08、0．16、0．25）。通过X射线衍射（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）和分光光度计等分析测试手段对MgxZn1-xO薄膜的晶体结构、透光性及禁带宽度进行了研究。结果表明，随着Mg含量的增加，MgxZn1-xO薄膜仍然保持着ZnO的纤锌矿结构，没有生成MgO相，Mg可以有效地溶入ZnO的晶格中。MgxZn1-xO薄膜具有良好的透光性，在可见波段的光透过率达85％以上；此外，随着Mg含量的增加，MgxZn1-xO薄膜的吸收边出现蓝移现象，禁带宽度从3．30eV增大到3．54eV。