体积小功率大——深腐蚀法用硅经济制造微型模具芯

摘要

在许多应用领域,如通信、光学和生物技术领域,需要越来越多的结构尺寸只有几微米的构件和元器件。如玻璃纤维插塞连接器或微流系统,这些器件常用于基因分析学当中。为了经济合理地制造这些产品,需要采用一些特别适用的方法,如塑料压铸或模压。