下一代半导体OEM的运动控制系统设计

摘要

面对持续发展的巨大市场,半导体制造设备厂商为提升制造设备性能,并提高半导体制造生产率,开始采用MEI和SynqNet技术,成功完成了革命性的机器人控制EFEM核心部分的设计。