普发真空推出模块化真空泵组

摘要

为了适应研发、加速器、分析、表面物理以及真空工艺技术、电子束焊接和检漏设施等方面的应用要求，普发真空研发了HiCube系列高可靠性的涡轮分子泵组。该泵组采用了模块化设计，可以满足客户从35-685L／s不同抽速的需求；全配置并可立即投入使用，前级泵和涡轮分子泵的完美组合提供了“即插即用”的功效。