真空蒸镀

摘要

真空蒸镀是将工件放入真空室内,并用一定的方法加热使镀膜材料蒸发或升华,飞至工件表面凝聚成膜。按加热方式及蒸发源,真空蒸镀有电阻加热蒸镀、电子束蒸镀、高频加热蒸镀、激光加热蒸镀等。