四极质量分析器的几何量检测研究

摘要

四极质量分析器是四极质谱仪的核心部件之一,其极杆加工及组件装配精度要求很高.介绍了四极质量分析器研制中其部件极杆、陶瓷座的几何量检测内容及自研装置,四极质量分析器装配组件的装配精度检测方法.批量生产的四极质量分析器的检测结果表明装配的综合精度可以稳定达到3μm以内,几何量的检测满足实际要求,质谱测试的分辨率达到1 500以上,性能达进口四极质量分析器水平.