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径向直线运动型硅片传输机器人的设计与研究

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摘要

结合径向直线运动型硅片传输机器人的设计,分别介绍了该机器人的升降旋转部件、径向伸缩部件、末端翻转部件的机构以及工作原理,并且对径向伸缩部件的直线运动机构进行了运动学分析.

著录项

来源
《制造业自动化》|2005年第2期|35-37|共3页
作者
丛明; 张士军; 金洙吉; 康仁科;
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作者单位

大连理工大学,精密与特种加工教育部重点实验室,大连,116024;

大连理工大学,精密与特种加工教育部重点实验室,大连,116024;

大连理工大学,精密与特种加工教育部重点实验室,大连,116024;

大连理工大学,精密与特种加工教育部重点实验室,大连,116024;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类机器人技术;
关键词
硅片传输机器人; 机构; 运动学分析;
入库时间 2022-08-18 06:12:31

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