加工表面形貌测量理论、方法及评价

摘要

随着精密、超精密及纳米级加工技术的发展,对工件表面的微观几何结构及表面形貌特性的检测提出了越来越高的要求,传统的二维表面测量,评定方法发展较为成熟,但已经不能满足现代计量技术的需要.三维的测量,评定方法则是目前国内外研究的重点.本文就表面测量方法、理论及评价指标等进行了论述.