機械加工を支える機内·機上計測の基礎と応用 第4回 機内·機上計測技術の各種方式－画像形成方式と工具測定への適用

摘要

画像処理技術は、組立工程や検査工程において、機械の位置決めや対象の検出、識別および状態量計測の手段として、比較的古くから生産工程の自動化に活用されてきた。特に半導体製造工程では、1970年代からワイヤーボンディング装置に画像処理システムが実装されている。一方、機械加工工程においては、オフラインの外観検査装置への導入は進hだが、過酷な環境やセンサのコンパクト化、複雑な3次元形状が計測対象である場合が多いなどの技術的課題や費用対効果などの理由により、これまで機内·機上計測に画像処理技術が導入された例はそれほど多くなかった。