基于PLC的光栅刻划机控制系统研究

摘要

光栅刻划机作为衍射光栅最重要的制作手段，其控制系统对获得高精度光栅具有重要影响。设计并实现了以PLC为核心的光栅刻划机的控制系统，控制系统以伺服电机编码器的检测信号作为速度反馈，以光栅尺和读数头信号作为位置反馈，以温度传感器信号为温度反馈，可以极大地提高光栅刻划机的控制精度。控制系统主要包括PLC、伺服电机和伺服驱动器等硬件模块，完成PLC选型后对主要的接口电路进行了设计，并基于LabVIEW软件实现了光栅刻划机的远程监控系统，提高了光栅刻划机的效率。