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关于Sputtering工艺在液晶TFT生产中的应用

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摘要

在液晶TFT生产领域中,Sputtering工艺得到了较好的应用,通过对Sputtering生产工艺的讲述,解析Sputtering工艺生产中各重要环节,并对Sputtering生产工艺进行探究,为生产应用提供有力帮助.

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来源
《制造业自动化》|2018年第7期|71-72|共2页
作者
盛大德; 王立夫; 庞华山; 章旭; 毛继禹;
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作者单位

北京京东方显示技术有限公司,北京 100176;

北京京东方显示技术有限公司,北京 100176;

北京京东方显示技术有限公司,北京 100176;

北京京东方显示技术有限公司,北京 100176;

北京京东方显示技术有限公司,北京 100176;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN837.93;
关键词
靶材溅射; 铟锡氧化物; 薄膜晶体管;
入库时间 2023-07-24 22:36:16

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