半导体先进制程废水处理技术探讨

摘要

当前,我国的半导体制造已经进入28纳米制程量产节点,所以很多工厂都引进了相应的设备,所引进的相应设备所使用的化学品量和相应制程与以往有很大的不同.同时,在注重环保的理念下,相应的排放规则也与以往有所不同,所以这就对其废水处理有着严格的要求.论文首先介绍了先进制程对废水排放的影响,以及半导体先进制程的废水处理系统的变化,进而为半导体先进制程的废水处理提供相应参考.