爬行式高精度宽范围微定位系统

摘要

@@ 近十几年来,STM、SPM作为钠米技术中的一个重要的研究工具,其应用得到了很大的发展,从表面形貌测量到各种物理特征量的检测与分析;由单纯的检测到纳米级测量和加工并行,国内外很多实验显示了它们在科研和商业生产中应用的巨大潜在价值[1-3].然而,无论是检测还是加工,要使STM、SPM在科研中方便地和在商业生产中广泛地得到应用,扩大检测或加工的尺寸范围非常必要,自然地,就需要一宽范围高精度定位系统.