高精度智能三维轮廓测量仪

摘要

介绍了基于国产6JA干涉显微镜的智能三维轮廓测量仪.仪器的垂直测量范围达80μm,垂直分辨率达1 nm;仪器可用于多种材料、多种形状的轮廓测量,只需几秒钟即可完成一个取样表面的二维和三维自动测量与评定.给出了对标准样板的测量结果,实验表明仪器总测量误差小于5%.