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基于垂直位移扫描的三维表面轮廓测量仪

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摘要

该测量仪在测量过程中以保持杠杆处于平衡位置为前提,X-Y向、Z向工作台分别采用衍射光栅为标准器,X-Y向工作台采用直线电机和压电陶瓷分别进行粗、细两级定位.本文论述了仪器的整体结构、测量原理、工作台的定位控制以及衍射光栅干涉信号的处理.

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来源
《中国仪器仪表》 |2005年第12期|54-57|共4页
作者
孙艳玲;
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作者单位

湖北襄樊学院,湖北,襄樊,441053;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类仪器、仪表;
关键词
表面轮廓测量仪; 杠杆; 衍射光栅; 直线电机; 压电陶瓷;

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