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基于FUZZY理论的蓝宝石超精密研磨参数优化方法

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摘要

运用模糊理论探求蓝宝石晶圆研磨工艺参数与表面质量参数间的关系,获得优化参数以提高蓝宝石的超精密研磨加工效率和较高的表面质量.对蓝宝石的研磨工艺参数构建了三角形模糊逻辑模型,筛选出2组研磨优化参数组.通过实验结果表明,模糊算法获得的优化参数能提高蓝宝石的加工效率,改善研磨加工的表面质量.

著录项

来源
《机械制造》 |2011年第2期|20-22|共3页
作者
王笑; 鲁聪达;
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作者单位

浙江师范大学行知学院,浙江金华,321014;

浙江工业大学机械制造及自动化省部共建教育部重点实验室,杭州,310014;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类研磨加工;
关键词
蓝宝石; 研磨参数; 隶属函数; 模糊优化;

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