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MEMS技术概述

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摘要

这里简要介绍了MEMS技术的概念、研究的主要领域和目前的应用领域,重点介绍了MEMS加工技术及其分类,最后给出了该技术的展望.

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来源
《机械设计与制造》 |2006年第4期|106-108|共3页
作者
王冬生; 王春明; 胡桂珍;
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作者单位

哈尔滨工业大学(威海)汽车工程学院,威海,264209;

山东威海海马地毯厂,威海,264200;

哈尔滨工业大学(威海)汽车工程学院,威海,264209;

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正文语种 chi
中图分类机械学（机械设计基础理论）;
关键词
研究领域; 加工技术; 现状及展望;

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