微型晶体谐振器真空烤箱出料门系统设计及开发

摘要

为了满足微型晶体谐振器高性能封装需求,综合应用机-电-气一体化设计理念,研发一套微型晶体谐振器真空烤箱出料门系统.以密封性好、可靠性高为目标,提出了由Z轴按压机构、Y轴提升机构和防掉落保护机构组成的系统结构技术方案;以冲击性小、能耗低为目标,对气动回路进行详细设计,并在回路数学模型、仿真分析基础上,确定气动回路的关键参数;针对系统运动不同步现象,对其运动同步性进行仿真分析,验证气动回路设计合理性.最后样机试验表明系统运行稳定,完全满足系统预期功能需求及关键性能指标.