超高纯氘气的气相色谱分析方法研究

摘要

对于半导体行业用超高纯氘气现无完善的分析方法.实验建立了一种基于低温气相色谱-脉冲放电检测器的超高纯氘气的分析方法.采用中心切割与柱切换技术设计了一套分析系统,可以同时对氘气中的O2、N2、CO、CO2、CH4、H2、HD进行分析.通过实验确定了色谱的最佳工作参数和切阀时间.结果 表明,该分析方法结果稳定、重现性高,可以适用于工业检验.