高纯氨中ppm级氧、氮、水及碳氢化合物的气相色谱分析

摘要

叙述了电子级高纯氨中ppm级O2、N2、H2O、碳氢化合物的气相色谱分析方法。用热导色谱法检测氨中微量O2和N2。当进样量为3ml时，其灵敏度为1ppm/mm；用氢焰转化色谱法检测氨中微量水和碳氢化合物时，其灵敏度水为0.3～0.5ppm/mm，碳氢化合物为0.2ppm/mm。