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氩气回收一次净化变二次净化系统的改造

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氩气回收一次净化变二次净化系统的改造刘焕新，金文开（洛阳单晶硅厂洛阳４７１００９）１前言氩气是单晶硅制备中重要的原辅材料，为降低单晶硅的耗氩量，我厂已于７０年代上马“海绵钛净化回收氩装置”，对单晶硅成本的降低做出了贡献。由于原系统是一次净化，为进一步...

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来源
《低温与特气》 |1994年第2期|26-27|共2页
作者
刘焕新; 金文开;
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作者单位

不详;

不详;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类 TQ116.43;
关键词
氩气; 回收; 净化; 净化器;

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