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微电子工业用超高纯丙烷的工业化生产

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摘要

根据丙烷原料特点,采用吸附、催化加氢和精馏相结合的方法,研制出纯度≥99.995%的高纯丙烷,满足了微电子工业对高纯丙烷的质量要求.

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来源
《低温与特气》 |2005年第1期|32-33|共2页
作者
吴江红; 来庆福; 陈丽; 孙福楠;
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作者单位

光明化工研究设计院,辽宁,大连,481信箱,116031;

光明化工研究设计院,辽宁,大连,481信箱,116031;

光明化工研究设计院,辽宁,大连,481信箱,116031;

光明化工研究设计院,辽宁,大连,481信箱,116031;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类特种气体;
关键词
高纯丙烷; 吸附; 催化; 精馏; 微电子工业;

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