洁净室内设备的热通量及位置对流场影响的数值模拟

摘要

通过建立符合真实的洁净室尺寸大小及环境规范的模型,针对设备不同大小的热通量及其摆设位置对流场所造成的影响,进行了数值模拟.结果表明,设备上方的热通量越大,其产生的涡区范围和回流速度越大.以洁净室空间高度做无因次化,则当设备无因次化高度为0.435,设备之间无因次化距离为0.217时,为设备摆设的最佳距离,而当设备之间无因次化距离为0.783,则设备周围的流场不会受到另一设备的影响.所得结论可作为洁净室厂房设计和设备安装的参考依据.