半导体等离子体掺杂过程中杂质扩散系数的求解与讨论

摘要

扩散系数是反映扩散快慢的物理量,对研究扩散具有重大意义.本文分别讨论杂质在存在损伤的表面附近区域内和具有完整晶格的表面附近区域内扩散的扩散系数的求解方法.在不考虑表面损伤的理想情况下,掺入杂质的扩散系数是定值,可利用Matlab软件对杂质浓度分布进行余误差函数拟合得出.在考虑表面损伤的实际情况下,掺入杂质的扩散系数是时间的函数,借助积分第二中值定理近似求出.上述两种情况下的扩散系数的差异可以定性反映带有损伤的表面区域晶格和体内的完整晶格的差异.