基于干涉条纹的激光准直技术的检测系统

摘要

为了获得被测导轨的直线度误差信息,采用半导体激光器发出的激光,经准直扩束后照射到楔形平板上,利用楔形平板上下表面的反射作用,将这束激光分解为交角2α的交叉光束,在这两条平行激光束交叉的范围内产生干涉条纹.将此干涉光作为准直测量的基准,用线阵CCD作为光电转换器件固定在接收靶上;检测接收靶处于被测导轨任一测量点时干涉条纹在接收靶上的位置,得到了该测量点与准直光束的偏移量.进行了重复性实验以及与光电自准直仪的比对实验.在测量长度842mm 时,直线度误差18.96μm,测量长度最远可达14m.结果表明,样机的性能、指标基本达到了预定目标.